除了MEMS传感器,微执行器(Micro-Actuators)也来了?它带来什么机遇?

近日,在上海微技术工业研究院(SITRI)协办的以"Navigating Challenges and Opportunities for MEMS and Sensors at the Front and Back Ends of the Supply Chain"为主题的第二届MIG亚洲会议上,意法半导体模拟、MEMS传感器事业部执行副总裁兼总经理Benedetto Vigna 发表了题为《Actually, it’s Actuators!》演讲,分享了未来十年传感器产业新的机遇,微执行器(Micro-Actuators)相对于传感器,似乎比较陌生。但ST却在MEMS领域提供更为完整的产品链与竞争力,其中微执行器就是重要的一方面。

微执行器是现代自动控制技术的关键技术。近年来,随着微电子技术和微细加工工艺的快速发展,特别是微纳米技术的蓬勃兴起,为微执行器的开研究提供了有力的技术支持。

作为物理世界和电信号的中间节点,传感器和微执行器各自担负着自己的使命。据介绍微执行器这一块业务ST已经做了很久,可以追溯到MEMS刚起步阶段,当时有应用在诸如打印机的喷墨头部分。但目前这个技术的应用对于用户而言仍有一定距离。对于这一技术,最新的应用是这次ST为Intel的realsense 3D建模产品的核心模组提供MEMS微镜(Micro-Mirrors),用来控制3D扫描的镜子反光角度,执行逐行扫描。同时现在也有另一个应用机会在手机上的微型投影仪,类似这些光机产业如何把他产业化是另一个挑战。同时,ST已经开始生产压电执行器 (piezoelectric actuator)产品。我们的下一代薄膜压电式MEMS 产品也即将面世,该技术将改写 MEMS的商业运作方式,大幅度提高产品运行效率。

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来源: 传感器世界

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