MEMS的市场动向及今后的产品拓展

MEMS的市场动向及今后的产品拓展MEMS的市场动向及今后的产品拓展 MEMS市场动向
近年来,使用了MEMS技术的半导体产品的需求和用途正在不断扩大。MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的缩写,和内存、微处理器这样的半导体产品一样是对硅晶片进行微细加工而成的产品,只是MEMS的硅电路板上不仅有电路,还有由机械运动的可动结构体构成的三维结构。使用此结构将压力、温度、加速度这些物理量转换成电气信号的传感器,还可实现执行器的功能,提供电气信号使可动结构体进行机械运动。